事件：
公司发布2021年一季报，一季度实现营收6.03亿元，同比增长46.24%；实现归母净利润1.38亿元，同比增长425.36%；扣非净利润扭亏为盈，一季度实现0.11亿元，同比增加0.17亿元。
投资要点：
一季度刻蚀设备保持高增长，MOCVD业务回暖2021年一季度营业收入同比增长46.24%，主要受益于刻蚀设备和MOCVD设备收入的快速增长，一季度分别实现营收3.48亿元和1.33亿元，较上年同期分别增长63.75%和76.85%。一季度归母净利润大幅增长主要由于1）扣非净利润同比增加0.17亿元；2）政府补助同比增加1.43亿元；3）参股中芯国际股价波动导致的公允价值变动损失0.24亿元。
公司刻蚀设备研发稳定推进，并已运于国际知名客户产线逻辑方面，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进产线，并配合客户在开发新一代涵盖5纳米以下的刻蚀设备。
存储方面，公司CCP设备可应用于64层和128层的量产，ICP设备已在多个逻辑和存储芯片厂商产线量产。
国产替代大背景下公司持续受益大陆晶圆厂新一轮产能扩张刻蚀设备在晶圆厂设备支出中仅次于光刻设备，且相较于光刻设备刻蚀设备数量更多，可替代比例更高。由于中美关系国内晶圆厂对国产设备的需求增长明显，公司作为头部领先企业将持续受益国产化机遇。
盈利预测
预计公司2021-2023年归母净利润为5.13、6.43、7.70亿，维持增持评级。
风险提示
公司研发不及预期；下游晶圆厂资本支出大幅缩减，扩产不达预期；公司产品渗透不达预期；中美关系风险。