槽式湿法设备供不应求，单片式设备21 年有望逐步放量。根据公司12月份投资者关系活动记录，前期下游客户资本开支受疫情影响有所滞后，20Q4 表现了明显的回补，公司2020 年下半年订单呈现井喷状态，其中槽式湿法设备供不应求、同时多台单片式设备处于验证中。根据公司官方微信近日消息，2020 年公司湿法设备全年出机超过30 台，同时S300 单片湿法设备的订单超过10 台，单片式湿法设备合同金额超过3 亿元。随着后续单片湿法设备通过验证，有望在21 年逐步放量，展现较强的业绩弹性。公司自2017 年开始高密度投入湿法设备业务，2020 年底湿法设备团队将近200 人，较19 年翻倍，公司保持5 年200台的装机目标不变。下游需求保持高景气，公司业务进展积极，正逐步进入收获期。
晶圆再生项目预计2021Q1 流片，产能基本已被下游客户预定。公司合肥晶圆再生项目拟成为国内第一条投产的十二英寸晶圆再生专业工艺服务，该项目以14 纳米晶圆厂需求为设计基础，将服务于中国半导体高阶市场。根据公司12 月份投资者关系活动记录，目前该项目已进入尾声，经客户或第三方现场验证后即可流片，首期产能7 万片/月，年产84 万片，产能已经基本被下游客户预定。
投资建议：预计2020-2022 年收入分别为13.2/17.4/21.0 亿元，对应PS 分别为8.5/6.4/5.3 倍；EPS 分别为0.71/1.19/1.53 元/股。考虑可比公司估值，给予公司21 年8 倍PS，对应合理价值45.29 元/股。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。
风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。